基板搬送シミュレータ LTTransferSim
各種チャンバや搬送ロボット及びEFEM等各種の機構から構成される半導体製造装置内での基板搬送をシミュレートして、製造装置における基板処理のスループットを求める事ができます。
また、それぞれの配置や構成からボトルネックとなる箇所を確認したり、搬送条件や経路を変更してシミュレートすることができます。
デベロッパー版ではシミュレートするチャンバや搬送ロボット等の装置を構成する各機構をMicrosoft Visual Studio2008用のコンポーネントとして提供します。
チャンバやロボットなどの装置を構成する基本部品です。これらの部品をフォーム上に配置し、スロット数等のプロパティを設定します。
同じ種類のモジュールで並行処理を行う場合にこれらのモジュールをグループ化します。
フォーム上に配置して、プロパティに並行処理を行う基本コントロールを設定します。
時間軸の設定とシミュレーション結果を表示します。
基板搬送シミュレータで搬送をシミュレートするメインのコントロールです。
また、シミュレーションの開始、停止を行います。
用意された様々なコンポーネントをフォーム上に配置するだけで搬送シュミレーションが即実行できます。
[LTTransferSim] 基板搬送シミュレータ