概要

LTGem Seriesとは、半導体製造装置用にSemiconductor Equipment Communications Standard(SECS)通信用機能を組み込む為のパッケージソフトウェアです。
既に定義されているスクリプトを使用することによりGeneric Equipment Model(GEM)規格に準拠した半導体製造装置を実現します。 製造装置アプリケーションソフトウェアとGEMサーバのインターフェイスはActiveX コンポーネントで行います。
LTGem Seriesには、

• 装置にSECS／GEM通信用機能を実装する為の GEMサーバ
• 装置及びホストの通信テストを行う為の GEM/SECSシミュレータ
• メッセージ送受信のトレースログを表示解析する為の メッセージログビュアー
• 各種定義を行う為の メッセージ定義ツール
• スクリプトのデバッグを行う為のシナリオデバッガ

があります。